光刻机euv 英文全名是什么 时间:2026-05-23 00:04:00 浏览:828次 EUV(极端远紫外光源,Extreme Ultraviolet 略称)光刻,是使用通称极端远紫外光源的极短波(13.5 nm)光线的光刻技术,能够加工至既有 ArF 准分子激光光刻技术不易达到的 20 nm 以下精密尺寸。请采纳,谢谢 标签:全名是,光刻机,euv